Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM)
| Cihaz Özellikleri | Cihaz Sorumlusunun | ||
|---|---|---|---|
| Markası / Modeli | TESCAN / MAIA3 XMU | Adı Soyadı | Öğr. Gör. İbrahim ÇALIŞ |
| Demirbaş Sicil Numarası | 253.3.6/14/31655 | Telefon | 0378 501 1000/2901 |
| Cihaz Durumu / Adedi | Kullanımda / 1 adet | Eposta | icalis@bartin.edu.tr |
| Bulunduğu Labaratuvar | Bartın Üniversitesi / Merkezi Araştırma Laboratuvarı / Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) Laboratuvarı | ||
|
Cihaza Ait Resimler
|
|||
|
Teknik Özellikleri
Malzeme içerisindeki yapıların mikro ve nano mertebesinde görüntüleme analizi yapılabilmektedir. Ayrıca numune içerisinde nitel ve nicel elementel analiz yapılabilmekte olup haritalandırma tekniği ile elementlerin dağılımı izlenebilmekte ve EBSD tekniği kullanılarak faz analizi yapılabilmektedir. ELEKTRON OPTİKLERİ Elektron Tabancası: Yüksek Parlaklıklı Schottky Emiter (FEG) Çözünürlük: Standart modda (In-Beam, SE): 15kV'da 1,0 nm; 1 kV'da 1,8 nm; 500 V'da 2.5 nm Beam Deceleration modda: 1kV'da 1,4 nm; 200V'da 2,2 nm STEM modunda: 30 kV'da 0,8 nm In-Beam BSE modunda: 15 kV'da 2,0 nm Düşük Vakum Modu: BSE: 30 kV da 2,0 nm Yaklaştırma (30 kV da): 4x-1000000x Maksimum görüş alanı: 4,3 mm (WDanalytical 5 mm iken) 7,7 mm (WD 30 mm iken) Hızlandırma voltajı: 200 V-30 kV / BDT ile 50 V a kadar inilebilir Prob akımı: 2 pA-200 nA Elektron optikleri çalışma modları: Resolution:Ultra yüksek çözünürlük modu Depth:Odak derinliğini arttırmak için kolonu optimize eder. Field:Bozulmamış büyük bir görüş alanı sağlar. *Düşük vakum modunda yalnızca Resolution ve Depth modu kullanılır. TARAMA ÖZELLİKLERİ Tarama hızı: Piksel başına 20ns-10ms aralıklarla ya da devamlı Tarama özellikleri: Nokta, Hat taraması Tarama penceresi ile şekil, büyüklük ve pozisyon devamlı ayarlanabilir Dinamik odaklanma Görüntü döndürme, kaydırma, eğdirme telafisi VAKUM SİSTEMİ Çember Vakumu: Yüksek vakum modunda <9x10-3 Pa Düşük vakum modunda 7-500 Pa Tabanca Vakumu: <3x10-7 Pa Numune değişiminden sonra vakuma alma süresi: <3,5 dakika ÇEMBER ÖZELLİKLERİ Çember iç boyutu: 285mm (genişlik) x 340 mm (derinlik) Kapak boyutu: 285mm (genişlik) x 320 mm (derinlik) Numune kapasitesi: 7 NUMUNE TUTUCU ÖZELLİKLERİ Tipi: Bilgisayar kontrollü, tamamen motorize Hareket Kabiliyeti: X=130mm (-50mm den +80mm ye) Y=130mm (-65mm den +65mm ye) Z=90mm Dönme: 360° devamlı Eğme: -30° dan +90° a kadar Maksimum Numune Yüksekliği: 89,5 mm (BDT döner tutucu) 106 mm (Döner tutucu) 135 mm (Döner tutucu olmaksızın) DEDEKTÖRLER SE: İkincil elektron dedektörü, Everhart-Thornley tipi (YAG kristal) BSE: Geri saçılma dedektörü, sintilatör tipi, (YAG kristal), yüksek hassasiyetli, atom numarası çözünürlüğü 0,1 In-Beam BSE Dedektörü: Düşük çalışma mesafelerinde görüntü almak için kolon içerisine yerleştirilmiş sintilatör tabanlı geri saçılma dedektörü In-Beam SE Detektörü: Yüksek çözünürlük ve düşük çalışma mesafesi için kolon içine monte edilmiş ikincil elektron dedektörü STEM Dedektörü: Taramalı geçirim elektron mikroskop dedektörü, Bright Field ve Dark Field görüntüleme EDS: Oxford, Xmax 50 EBSD: Oxford, Nordlys
|
|||
